ulvac真空计的故障排除
1.由于灵敏度是用氮气校准的，如果残留气体的主要成分不是氮气，则显示值与实际压力不同。
2.当测量含有氧气或水蒸气的气体时，灯丝会迅速反应并劣化。
为了减少消耗，要么降低发射电流，要么使用具有三层涂层表面的灯丝。
3.在测量10 -4 Pa 或更低的压力时，需要对探头本身进行脱气。
开始脱气时，大量释放的气体会增加压力，反过来可能会污染探头。请务必在 10 -4 Pa 以下进行脱气。
4.请注意，在高压（三极管型：10 -1 Pa 或更高）下连续使用会导致灯丝快速磨损，从而无法获得恒定的发射电流。
1.探头灯丝不亮
2.探头灯丝发出异常光（灯丝瞬间亮后熄灭54.灯丝亮但不显示压力
3.比平时亮）指示值波动6.指示值与预期压力明显不同7.未输出设定值信号
1.写笔灯丝不亮
| 原因 | 解决方法 |
|---|---|
| 断丝 | 接点更换 |
| 探头电缆断开 | 探头电缆的维修和更换 |
| 由于高压 | 用皮拉尼真空计等检查压力。 |
| 灯丝选择开关设置错误 | 选择正确的灯丝 |
2.探头灯丝发出异常光（比平时亮）
| 原因 | 解决方法 |
|---|---|
| 探头电缆断开 | 探头电缆的维修和更换 |
| 控制器故障 | 要求维修 |
| 接触点劣化 | 接点更换 |
3.灯丝亮但不显示压力
| 原因 | 解决方法 |
|---|---|
| 探头电缆断开 | 探头电缆的维修和更换 |
| 控制器故障 | 要求维修 |
4.灯丝亮片刻，然后快速熄灭
| 原因 | 解决方法 |
|---|---|
| 保护电路工作是因为被测压力很高。 | 用皮拉尼真空计等检查压力。 |
| 控制器故障 | 要求维修 |
5.指标波动
| 原因 | 解决方法 |
|---|---|
| 探头或连接探头的连接处出现真空泄漏 | 更换手写笔或改善连接处的真空泄漏 |
| 触控笔上的污染 | 接点更换 |
| 探头电缆在振动 | 如果探头电缆不断振动，指示值可能会因探头电缆内部的摩擦电动势而波动，因此请重新考虑电缆安装方法。 |
6.指示值与预期压力有显着差异
| 原因 | 解决方法 |
|---|---|
| 发生漏电流 | 因接触点脏污和接触点电缆绝缘不良而更换。 |
| ・灵敏度系数设置不正确 ・被测气体不是氮气或空气。 | 根据手册正确设置 |
| 压力实际上与预期不同 | 与其他真空计检查 |
7.无设定点信号输出
| 原因 | 解决方法 |
|---|---|
| 更换控制器中的继电器 | 继电器损坏 → 要求维修 |
| 发射电流失控 | 如果发射变为 NG，设定值信号的输出也会被取消 → 更换测针 |
8.停止发射电流流动的原因及对策
| 原因 | 解决方法 |
|---|---|
| 高压（10 -1 Pa 或更高） | 排气系统检查 |
| 断丝 | 接点更换 |
| 灯丝磨损 | 接点更换 |
| 触控笔内部有污垢 | 接点更换 |
| 探头电缆接触不良/断开 | 重新连接或更换探头电缆 |
| 控制器电源电路故障 | 要求维修 |
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