硼硅酸盐玻璃 (t = 20 µm) 在出口孔处钻了 1 µm
我们将交付使用 266nm 深紫外皮秒激光器的第一阶段加工，这是 Spectronics 的最大特点。随着半导体和电子设备的进步，薄玻璃板的钻孔越来越受到关注。我们也进行了加工验证，以免错过这一趋势。
加工验证详情
◇目标材料
硼硅酸盐玻璃厚度：20μm颜色：透明
◇使用激光振荡器
LDH-X0300（266nm/50ps/2W@100kHz）
◇加工光学
Galvano扫描光学（f=160mm，佳能Galvano）
理论光斑尺寸Φ12。 45μm
◇照射方式
冲击（固定光束照射）
◇结果
照射侧孔径 10-11μm（XY 方向略呈椭圆形） 出射
侧孔径 1μm
处理时间 0.067sec/孔
◇处理后的样图
