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日本三明电子sanmei三维抗蚀剂涂布装置DC111
设备是为MEMS器件和各种半导体研究开发的喷涂机。
1，支持MEMS器件
2，在不平坦的表面上均匀涂膜厚度
3，通孔和沟槽填充应用
4，配有加热器内置的样品架。样品温度gao可控制在100°C。
5，伺服电机使用我们的“ Si-servo”，它具有低振动，低热量产生和高精度的特点。
6，特殊规格也可提供。
1.可以进行高精度，均匀的膜厚涂布
使用可以制成微粒的喷嘴，即使在常规旋涂器难以涂覆的区域，例如基材的倾斜表面，梯形和直角顶点，也可以形成均匀的膜。
另外，可以将内嵌的抗蚀剂施加到微调器难以实现的空腔，通孔和沟槽结构上。
适用的膜厚从旋转器级薄膜到超厚膜。膜厚度可以为1μm至600μm。（取决于化学性质。）
2.可以使用多种化学溶液
它支持AZ电子材料的AZ-P4000系列，Kayak Microchem Co.的SU8，KMPR系列等，
以及苯并环丁烯树脂（BCB）和各种聚合物。
也可以使用高粘度化学品。（取决于化学性质。）
3.减少化学药品的浪费
由于它被涂到小的必要表面上，因此不会浪费化学液体，例如旋涂。
另外，由于注射器被放置在喷雾单元附近，因此药液管线中的废物少。
日本三明电子sanmei三维抗蚀剂涂布装置DC111
| 项目 | 规范 |
|---|---|
| 设备*名称 | DC111 |
| 喷涂机 | |
| 格式 | 喷嘴移动/样品固定喷涂方法 |
| 样品台尺寸 | DC111：220×220mm□ |
| 喷嘴移动范围 | DC111：垂直和水平300毫米 |
| 喷嘴移动速度 | 10-300毫米/秒 |
| 化学品体积控制系统 | 通过化学空气进料和微针 |
| 颗粒大小 | 大约5-15μm（取决于所用的流体） |
效用
| 项目 | 规范 |
|---|---|
| 清洁干燥的空气 | 5Kg / cm 2（≒0.5Mpa）15升/分钟以上 （气管连接口Φ6mm一触式接头） |
| 电源供应 | DC111：1ΦAC100V 1800瓦 |
| 排气 | 外部排气量2300升/分钟 （连接管直径Φ100mm） |
外形尺寸和重量
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 身体尺寸 | DC111：1000 x 650 x 680毫米（高x阔x深） （不包括突起） |
| 重量 | DC111：100公斤 |
