网站首页产品展示 > > > DC111日本三明电子sanmei三维抗蚀剂涂布装置
产品中心

Product center

相关文章
日本三明电子sanmei三维抗蚀剂涂布装置

日本三明电子sanmei三维抗蚀剂涂布装置

产品型号: DC111

所属分类:

产品时间:2020-08-28

简要描述:日本三明电子sanmei三维抗蚀剂涂布装置DC111
设备是为MEMS器件和各种半导体研究开发的喷涂机。
1,支持MEMS器件
2,在不平坦的表面上均匀涂膜厚度
3,通孔和沟槽填充应用
4,配有加热器内置的样品架。样品温度最gao可控制在100°C。
5,伺服电机使用我们的“ Si-servo",它具有低振动,低热量产生和高精度的特点。
6,特殊规格也可提供。

详细说明:

日本三明电子sanmei三维抗蚀剂涂布装置DC111


设备是为MEMS器件和各种半导体研究开发的喷涂机。
 1,支持MEMS器件 
2,在不平坦的表面上均匀涂膜厚度 
3,通孔和沟槽填充应用 
4,配有加热器内置的样品架。样品温度最gao可控制在100°C。 
5,伺服电机使用我们的“ Si-servo”,它具有低振动,低热量产生和高精度的特点。
6,特殊规格也可提供。

特征

1.可以进行高精度,均匀的膜厚涂布

使用可以制成微粒的喷嘴,即使在常规旋涂器难以涂覆的区域,例如基材的倾斜表面,梯形和直角顶点,也可以形成均匀的膜。
另外,可以将内嵌的抗蚀剂施加到微调器难以实现的空腔,通孔和沟槽结构上。
适用的膜厚从旋转器级薄膜到超厚膜。膜厚度可以为1μm至600μm。(取决于化学性质。)

2.可以使用多种化学溶液

它支持AZ电子材料的AZ-P4000系列,Kayak Microchem Co.的SU8,KMPR系列等,
以及苯并环丁烯树脂(BCB)和各种聚合物。
也可以使用高粘度化学品。(取决于化学性质。)

3.减少化学药品的浪费

由于它被涂到最小的必要表面上,因此不会浪费化学液体,例如旋涂。
另外,由于注射器被放置在喷雾单元附近,因此药液管线中的废物最少。

日本三明电子sanmei三维抗蚀剂涂布装置DC111

 技术指标 基本规格

项目规范
设备名称DC111
喷涂机
格式喷嘴移动/样品固定喷涂方法
样品台尺寸DC111:220×220mm□
喷嘴移动范围DC111:垂直和水平300毫米
喷嘴移动速度10-300毫米/秒
化学品体积控制系统通过化学空气进料和微针
颗粒大小大约5-15μm(取决于所用的流体)

 效用

项目规范
清洁干燥的空气5Kg / cm 2(≒0.5Mpa)15升/分钟以上
(气管连接口Φ6mm一触式接头)
电源供应DC111:1ΦAC100V 1800瓦
排气外部排气量2300升/分钟
(连接管直径Φ100mm)

 外形尺寸和重量

项目内容
身体尺寸DC111:1000 x 650 x 680毫米(高x阔x深)
(不包括突起)
重量DC111:100公斤

 



留言框

  • 产品:

  • 留言内容:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 详细地址:

  • 省份:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7

QQ在线客服
电话咨询
  • 0755-21046949
  • 扫一扫,加微信