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日本三明电子sanmei独立的UVW平台对准系统Cuty Aligner
独立的高精度UVW平台对准系统
可爱的对准器
Cuty Aligner是一个独立的系统,可以手动操作UVW轴平台进行对齐。
对于无法自动对准的“视觉和手动对准工作”,
或在人无法进入的特殊区域中的“远程操作对准工作”,它是理想的选择。
日本三明电子sanmei三维抗蚀剂涂布装置,喷涂机DC111
带有XYθ/ UVW坐标转换控制器的手动操作系统
1.采用UVW工作台,结构简单
2.操纵杆操作简便,手动操作
3.点台自动操作
1. UVW平台结构简单
与传统的XYθ堆叠轴位移台相比,UVW位移台可用于各种对准机构,以实现更简单的机械配置,但是,另一方面,“用于3轴合成的运动指令的计算/控制”很复杂,这是设计所必需的。麻烦又麻烦。
Cuty-Aligner解决了麻烦的设计,并且可以轻松地手动操作。
2.操纵杆易于手动操作
操作方法是使用“操纵杆”在XY方向上移动,并通过“旋转旋钮”在θ方向(旋转)上操作。可以同时使用“操纵杆”和“旋钮”。
您还可以使用操纵杆对角移动。(具有摇杆倾斜角和速度互锁功能)
也可以通过切换``高速'',``低速'',``步进''将速度设置准确地移动到目标位置。(每个速度可以通过系统参数设置)
3.点表操作
Cuty-Aligner内部具有内置定位功能。
通过外部控制输入或通信命令,可以使用内部存储器中存储的点位表数据(多256个点)执行程序操作。
日本三明电子sanmei独立的UVW平台对准系统Cuty Aligner
项目 | 内容 |
---|---|
电源电压 | AC100V±10%50/60赫兹 |
环境温度 | 0〜50℃ |
冷却方式 | 内置强制风冷风扇 |
控制轴数 | 3轴(UVW) |
对应阶段 | NAF3C-10P,NAF3C-16P,NAF3A-01,NAF3A-02 (均由Heheist Seiko制造) |
运动范围 | 取决于连接的平台(NAF3C-16P:-3.0000mm至+ 3.0000mm,-3°至+ 3°) |
命令解析 | 100nm,0.001° |
指令系统 | 内置点表 (外部输入,串行通讯命令,从触摸屏开始) 从操作箱进行手动操作 (操纵杆,手动脉冲发生器,从触摸屏发出命令) 外部脉冲序列输入(XYθ轴命令) |
教学功能 | 点表数据多256点 |
防止超程功能 | 硬OT,软OT |
返乡方式 | 原点传感器方法 |
外部输入信号 | 10点信号功能可以选择 点开始,原点开始,暂时停止,复位,紧急停止, |
外部输出信号 | 10点信号功能用于选择性 自动操作,原点复归完成,操作就绪,原点信号,报警, |
报警 | 紧急停止,OT,系统错误,存储器错误,原点复位失败 |
显示功能 | 通过触摸面板编辑各种监视器和数据 |
自动定位功能 | 通过图像处理设备的命令(RS232C通信命令)进行定位 |
外形尺寸 | 控制箱:W260mm H19mm D330mm 操作箱:W270mm H90mm D230mm |
重量 | 控制箱:7kg操作箱:1.6kg |
*本规格书的内容如有变更,恕不另行通知,以进行产品改进。
项目 | 内容 | |
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查看/编辑 | 触控面板 | ・用于点位表操作的开始/暂停/复位按钮 |
开关 | 操纵杆 | X轴Y轴7方向各方向速度切换 |
手动脉冲发生器 | 对于θ轴 | |
紧急停止开关 | 紧急停止输入解除了电动机的励磁 *紧急停止时,必须再次返回原点。 |