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日本三明电子sanmei独立的UVW平台对准系统

日本三明电子sanmei独立的UVW平台对准系统

产品型号: Cuty Aligner

所属分类:

产品时间:2020-08-28

简要描述:日本三明电子sanmei独立的UVW平台对准系统Cuty Aligner
独立的高精度UVW平台对准系统
可爱的对准器
Cuty Aligner是一个独立的系统,可以手动操作UVW轴平台进行对齐。
对于无法自动对准的“视觉和手动对准工作",
或在人无法进入的特殊区域中的“远程操作对准工作",它是理想的选择。
日本三明电子sanmei三维抗蚀剂涂布装置,喷涂机DC111

详细说明:

日本三明电子sanmei独立的UVW平台对准系统Cuty Aligner


独立的高精度UVW平台对准系统
可爱的对准器
Cuty Aligner是一个独立的系统,可以手动操作UVW轴平台进行对齐。
对于无法自动对准的“视觉和手动对准工作”,
或在人无法进入的特殊区域中的“远程操作对准工作”,它是理想的选择。
日本三明电子sanmei三维抗蚀剂涂布装置,喷涂机DC111

带有XYθ/ UVW坐标转换控制器的手动操作系统

1.采用UVW工作台,结构简单
2.操纵杆操作简便,手动操作
3.点台自动操作

特征

1. UVW平台结构简单

与传统的XYθ堆叠轴位移台相比,UVW位移台可用于各种对准机构,以实现更简单的机械配置,但是,另一方面,“用于3轴合成的运动指令的计算/控制”很复杂,这是设计所必需的。麻烦又麻烦。

Cuty-Aligner解决了麻烦的设计,并且可以轻松地手动操作。

2.操纵杆易于手动操作

操作方法是使用“操纵杆”在XY方向上移动,并通过“旋转旋钮”在θ方向(旋转)上操作。可以同时使用“操纵杆”和“旋钮”。
您还可以使用操纵杆对角移动。(具有摇杆倾斜角和速度互锁功能)

也可以通过切换``高速'',``低速'',``步进''将速度设置准确地移动到目标位置。(每个速度可以通过系统参数设置)

3.点表操作

Cuty-Aligner内部具有内置定位功能。
通过外部控制输入或通信命令,可以使用内部存储器中存储的点位表数据(最多256个点)执行程序操作。

日本三明电子sanmei独立的UVW平台对准系统Cuty Aligner

 技术指标

项目内容
电源电压AC100V±10%50/60赫兹
环境温度0〜50℃
冷却方式内置强制风冷风扇
控制轴数3轴(UVW)
对应阶段NAF3C-10P,NAF3C-16P,NAF3A-01,NAF3A-02
(均由Heheist Seiko制造)
运动范围
取决于连接的平台(NAF3C-16P:-3.0000mm至+ 3.0000mm,-3°至+ 3°)
命令解析100nm,0.001°
指令系统内置点表
(外部输入,串行通讯命令,从触摸屏开始)
从操作箱进行手动操作
(操纵杆,手动脉冲发生器,从触摸屏发出命令)
外部脉冲序列输入(XYθ轴命令)
教学功能点表数据最多256点
防止超程功能硬OT,软OT
返乡方式原点传感器方法
外部输入信号10点信号功能可以选择
点开始,原点开始,暂时停止,复位,紧急停止,
外部输出信号10点信号功能用于选择性
自动操作,原点复归完成,操作就绪,原点信号,报警,
报警紧急停止,OT,系统错误,存储器错误,原点复位失败
显示功能通过触摸面板编辑各种监视器和数据
自动定位功能
通过图像处理设备的命令(RS232C通信命令)进行定位
外形尺寸控制箱:W260mm H19mm D330mm
操作箱:W270m​​m H90mm D230mm
重量控制箱:7kg操作箱:1.6kg

*本规格书的内容如有变更,恕不另行通知,以进行产品改进。

 操作箱配置

项目内容
查看/编辑触控面板

・用于点位表操作的开始/暂停/复位按钮
・操作模式切换按钮
(点动操作模式H /点动操作模式L /
步进操作模式/自动操作模式)
・原点复归开始/暂停/复位按钮
・警报复位按钮
・编辑参数/点位表数据
・各种监视器(当前位置XYθ,自动操作点号,警报)

开关操纵杆X轴Y轴7方向各方向速度切换
手动脉冲发生器对于θ轴
紧急停止开关紧急停止输入解除了电动机的励磁
*紧急停止时,必须再次返回原点。


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