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日本napsonμ非接触式光学膜厚测量系统

日本napsonμ非接触式光学膜厚测量系统

产品型号: FilmTek 1000

所属分类:

产品时间:2020-09-18

简要描述:日本napsonμ非接触式光学膜厚测量系统FilmTek 1000
该公司的产品可以执行非接触,非破坏性和高精度的折射率测量,半导体,光电,数据存储,平板,MEMS,光致抗蚀剂,TSV(硅直通电极)和其他成膜过程。它已交付给大型公司,并在全球范围内享有很高的声誉。

详细说明:

日本napsonμ非接触式光学膜厚测量系统FilmTek 1000

≪SCI(国际科学计算)光学膜厚测量系统≫ 

凭借广泛的测量波长,专有算法和分析软件,我们具有其他公司所没有的各种优势。

通过组合灵活的系统,我们可以准确地响应您的需求。

[关于SCI(国际科学计算)]

SCI(国际科学计算)于1993年在加利福尼亚州成立,是一家薄膜分析和设计软件公司。

在1996 年开发的分析和设计软件FilmWizasrd TM被公认为各个领域的优xiu软件包之后,我们开发了光学膜厚测量仪FilmTeK TM系列。

该公司的产品可以执行非接触,非破坏性和高精度的折射率测量,半导体,光电,数据存储,平板,MEMS,光致抗蚀剂,TSV(硅直通电极)和其他成膜过程。它已交付给大型公司,并在全球范围内享有很高的声誉。

[产品阵容]

<1> FilmTek 1000系列:简单的干涉仪系统

・ FilmTek 1000UV(UV〜面光源)

 ・ FilmTek 1000M(小斑点)


 

<2> FilmTek 2000系列:干涉仪测绘标准系统,也可以进行多层膜分析。

・ FilmTek 2000M(小斑点)

 ・ FilmTek 2000M TSV(TSV测量)

  FilmTek 2000SE(椭圆仪)

 ・ FilmTek 2000PAR


 

<3> FilmTek 3000系列:使用分光镜在DUV到NIR范围内,测量透明和半透明基板上薄膜的反射率和透射率图

・ FilmTek 3000M

 ・ FilmTek 3000 +近红外

・ FilmTek 3000SE

 ・ FilmTek 3000PAR


 

<4> FilmTek 4000系列:通过功率谱密度(PSD)进行多角度反射率测量和高精度测量

・ FilmTek 4000VIS +红外

 ・ FilmTek 4000SE


 

<5> FilmTek SE:光谱椭圆仪


 

[FilmTek产品概述]

FilmTek系列是一种光学非接触式膜厚测量设备,可进行无损且高精度的折射率测量。

为了进行分析,可以使用SCI独特的高性能软件:Film Wizard。

可以在不固定折射率和吸收(衰减)系数的情况下与膜厚度同时计算折射率和吸收系数。

在测量的同时输出光学膜厚度,然后使用洛伦兹-洛伦兹公式由反射率和透射率确定介电常数。

确定介电常数后,将使用SCI的原始色散公式作为物理属性值自动计算材料的波长依赖性,并自动拟合n(折射率)和k(吸收系数)。 ..

另外,由于将折射率的分辨率计算为10-4以上,因此,不仅是由该固定折射率得到的来自上表面的信息,而且还包括界面层,表面的变化和内倾斜层。可以捕捉到影响。

[测量例]

<测量目标>

  • ・半导体和介电材料
  • ・电脑磁盘
  • ・镀膜玻璃材料
  • ・多层光学涂料
  • ・激光镜
  • ・ AR涂层材料
  • ・电介质薄膜
  • ・光学设备
  • ・ PET膜
  • ・现场监控过程制造设备
  • ・记录媒体(DVD等)
  • ・有机膜
  • ・高分子材料
  • ・彩色胶卷
  • ・低K,高K材料
 

 日本napsonμ非接触式光学膜厚测量系统FilmTek 1000

<测量膜的
例子> SiOx a-Si SiNx aC:H DLC
ITO SOG硅膜多晶硅膜

光刻胶金属薄膜(半透明)

聚酰亚胺Al2O5 IGZO OLED等

<测量基准示例>
硅GaAs
SOI玻璃
SOS铝等



产品名称:膜厚测量系统(非接触式,光学型)

产品特点

  • ・测量波长范围从DUV(190nm)到NIR(1700nm)
  • ・大范围的膜厚和光学常数(折射率,吸收系数)的测量
  • ・通过专用软件可以进行未知的薄膜分析
  • ・可以指定深度方向的薄膜特性。
  • ・支持支持多角度(广角)反射率,透射率,椭圆光谱和干涉仪的系统
  • ・最多可测量5层的折射率,吸收系数和膜厚
  • ・有实时CD测量模型
  • ・有与TCV测量兼容的型号
  • ・提供表面粗糙度和带隙测量模型
  • ・测量薄膜特性随温度的变化
  • ・在任何基材上测量石墨烯厚度

测量规格

  • 测量范围:最大1A〜150μm
  • 世界上最小的光学常数(折射率):0002
  • 膜厚测量分辨率:最小03A

 



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