日本napsonμ非接触式光学膜厚测量系统

产品型号： FilmTek 1000

所属分类：

产品时间：2020-09-18

简要描述：日本napsonμ非接触式光学膜厚测量系统FilmTek 1000
该公司的产品可以执行非接触，非破坏性和高精度的折射率测量，半导体，光电，数据存储，平板，MEMS，光致抗蚀剂，TSV（硅直通电极）和其他成膜过程。它已交付给大型公司，并在范围内享有很高的声誉。

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日本napsonμ非接触式光学膜厚测量系统FilmTek 1000

≪SCI（科学计算）光学膜厚测量系统≫　

凭借广泛的测量波长，专有算法和分析软件，我们具有其他公司所没有的各种优势。

通过组合灵活的系统，我们可以准确地响应您的需求。

[关于SCI（科学计算）]

SCI（科学计算）于1993年在加利福尼亚州成立，是一家薄膜分析和设计软件公司。

在1996 年开发的分析和设计软件FilmWizasrd ^TM被*为各个领域的优xiu软件包之后，我们开发了光学膜厚测量仪FilmTeK ^TM系列。

该公司的产品可以执行非接触，非破坏性和高精度的折射率测量，半导体，光电，数据存储，平板，MEMS，光致抗蚀剂，TSV（硅直通电极）和其他成膜过程。它已交付给大型公司，并在范围内享有很高的声誉。

[产品阵容]

<1> FilmTek 1000系列：简单的干涉仪系统

・ FilmTek 1000UV（UV〜面光源）

 ・ FilmTek 1000M（小斑点）

<2> FilmTek 2000系列：干涉仪测绘标准系统，也可以进行多层膜分析。

・ FilmTek 2000M（小斑点）

 ・ FilmTek 2000M TSV（TSV测量）

  FilmTek 2000SE（椭圆仪）

 ・ FilmTek 2000PAR

<3> FilmTek 3000系列：使用分光镜在DUV到NIR范围内，测量透明和半透明基板上薄膜的反射率和透射率图

・ FilmTek 3000M

 ・ FilmTek 3000 +近红外

・ FilmTek 3000SE

 ・ FilmTek 3000PAR

<4> FilmTek 4000系列：通过功率谱密度（PSD）进行多角度反射率测量和高精度测量

・ FilmTek 4000VIS +红外

 ・ FilmTek 4000SE

<5> FilmTek SE：光谱椭圆仪

[FilmTek产品概述]

FilmTek系列是一种光学非接触式膜厚测量设备，可进行无损且高精度的折射率测量。

为了进行分析，可以使用SCI*的高性能软件：Film Wizard。

可以在不固定折射率和吸收（衰减）系数的情况下与膜厚度同时计算折射率和吸收系数。

在测量的同时输出光学膜厚度，然后使用洛伦兹-洛伦兹公式由反射率和透射率确定介电常数。

确定介电常数后，将使用SCI的原始色散公式作为物理属性值自动计算材料的波长依赖性，并自动拟合n（折射率）和k（吸收系数）。 ..

另外，由于将折射率的分辨率计算为10-4以上，因此，不仅是由该固定折射率得到的来自上表面的信息，而且还包括界面层，表面的变化和内倾斜层。可以捕捉到影响。

[测量例]

产品名称：膜厚测量系统（非接触式，光学型）

产品特点

• ・测量波长范围从DUV（190nm）到NIR（1700nm）
• ・大范围的膜厚和光学常数（折射率，吸收系数）的测量
• ・通过软件可以进行未知的薄膜分析
• ・可以深度方向的薄膜特性。
• ・支持支持多角度（广角）反射率，透射率，椭圆光谱和干涉仪的系统
• ・多可测量5层的折射率，吸收系数和膜厚
• ・有实时CD测量模型
• ・有与TCV测量兼容的型号
• ・提供表面粗糙度和带隙测量模型
• ・测量薄膜特性随温度的变化
• ・在任何基材上测量石墨烯厚度

测量规格

• 测量范围：大1A〜150μm
• 世界上小的光学常数（折射率）：0002
• 膜厚测量分辨率：小03A